產(chǎn)品介紹：

勻膠機(jī)是一種用于在基片表面均勻涂覆光刻膠或其他功能性涂層的精密設(shè)備，工作原理是通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)

生的離心力，將滴加在基片中心的光刻膠均勻地甩開，并在基片表面形成一層厚度均勻、表面平整的膠膜。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造(晶圓涂膠)、平板顯示(玻璃基板涂膠)、光學(xué)元件(透鏡、棱鏡等涂膠)、太陽(yáng)能

電池(硅片涂膠)、生物芯片(基片涂膠)等工藝中。

程控勻膠機(jī)(第四代）

型號(hào)：JW-A5

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 可載基片尺寸：φ10-φ100mm 圓片或最大100*100mm方片

l 7寸全彩觸摸屏，高級(jí)PLC控制，設(shè)置程序和真空吸附一鍵啟動(dòng)按鈕, 操作方便

l 可單步和多步（5組5步）勻膠操作

l 工業(yè)級(jí)馬達(dá)，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，運(yùn)行穩(wěn)定

l 溶劑PC透明蓋；盆腔PP材質(zhì)，耐腐蝕

l 真空泵與勻膠機(jī)同步工作,勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn), 真空泵就啟動(dòng),勻膠機(jī)停止,真空泵就停止

l 專有防堵設(shè)計(jì)，易于清潔

l 配有負(fù)壓表，可實(shí)時(shí)觀察片子是否吸緊，是否漏氣

技術(shù)參數(shù)：

  1. 標(biāo)配三種真空吸盤（φ10mm,φ25mm,φ50mm）

2. 速度可調(diào)范圍：99-12000RPM

3. 減速可調(diào)范圍：300-3000RPM

4. 轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

5.轉(zhuǎn)速誤差：±3轉(zhuǎn)（200-10000空載）

6. 單步最大時(shí)長(zhǎng)：4000S（時(shí)間分辨率：0.1S)

7. 加速可控范圍：99-10000RPM

8. 程序控制：可編程5組5步程序

9. 標(biāo)配無(wú)油真空泵，真空輸入：0.06-0.09Mpa 真空流量最小15L/Min

10. 真空接口：設(shè)備后面板出口外徑6mm

11.電源輸入: 220V 150W

12.最大可旋涂4寸基片，需另行定做吸盤

13.外形尺寸：335(D)x228(W)x215(H)mm

14.上開口φ190mm,盆底φ160，高70mm;溶劑PC透明蓋

15. 標(biāo)配七寸高清觸屏.

16.標(biāo)配負(fù)壓表，實(shí)時(shí)顯示真空吸附負(fù)壓值。

17.裝有真空吸附和程序啟動(dòng)實(shí)體按鈕。

18. 配有旋涂啟動(dòng)和真空吸附同步系統(tǒng)。